NUMERIK JENA光柵尺Kit L4 vac

Kit L系列直線光柵尺特別設(shè)計(jì)用于個(gè)性化的應(yīng)用。該系列產(chǎn)品不僅擁有極小的尺寸，更提供配置能力。該系列產(chǎn)品幾乎不限制設(shè)計(jì)師的設(shè)計(jì)自由。

• 特殊真空版的Kit L2帶EPIFLEX讀數(shù)模塊（2場掃描）
• 帶EPIFLEX讀數(shù)模塊（2場掃描）
• 光柵尺部件滿足真空度達(dá)10 E-6 mbar（UHV）的氣壓要求
• 1 Vpp或RS 422輸出信號
• 多達(dá)100倍的細(xì)分信號
• 最小測量步距僅50 nm
• 運(yùn)動(dòng)速度達(dá)10 m/s（1 Vpp）