KJLC 元件是具有成本效益的 RGA,是市場(chǎng)上更低的小型可檢測(cè)分壓 (MDPP) 之一。
使用一個(gè)RGA,您可以輕松檢測(cè)到空氣泄漏、冷卻水泄漏、泵中的油回流、因溶劑清洗不當(dāng)而留下的氟和氯、先前樣品的腔室污染以及(棘手的問(wèn)題)貫穿泄漏在供氣閥中。
泄漏檢測(cè)
抽空和烘烤監(jiān)測(cè)
氣體和污染物識(shí)別
真空系統(tǒng)診斷
過(guò)程監(jiān)控
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